晶片尺寸
兼容2-8英寸,圓形及方形基片,各類型電子元器件。
產(chǎn)品特點
1.使用溫度:RT~260℃,最高溫度:300℃;溫度均勻度:±5%(300℃平臺);
2.單個箱體有效尺寸:450×650×450mm(W×H×D);腔體材料:SUS304鏡面不銹鋼;
3.空箱升溫時間:每分鐘5度;空箱降溫時間:300℃-90℃降溫時間為1.5小時左右(采用鼓風(fēng)冷翅片散熱器或氣體);
4.溫度和氧含量記錄:無紙記錄儀;
5.氧含量(配氧分析儀):
高溫狀態(tài)氧含量:≤ 20ppm +氣源氧含量
低溫狀態(tài)氧含量:≤ 50ppm +氣源氧含量
6.控制:腔體可獨控溫、通氣、報警保護;排風(fēng)口:一個;
7.控溫儀表:日本理化FP23溫控儀;控溫段數(shù):20×20段;控溫點數(shù):一點;
8.高溫開爐門保護:當溫度超過100℃,電子鎖自動鎖緊,防止高溫開門
9.表面溫升:<30℃;加熱功率:15kW;保溫功率:≤9kW;
10.電源: 功率80KVA,3相5線,220/380VAC,50Hz;設(shè)備重量:約1000Kg;
應(yīng)用行業(yè)
廣泛服務(wù)于半導(dǎo)體、先進封裝、MEMS、光通信、科研等領(lǐng)域