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產(chǎn)品&服務(wù)

Products & services

噴膠機(jī) ASP
APRAY

  • 詳細(xì)描述
設(shè)備配置 2-4 chamber（option: COT、DEV）
設(shè)備產(chǎn)能 20WPH
襯底材質(zhì) Si、Glass等
適用工藝 深孔噴膠TSV、高深寬比臺(tái)階噴膠.
工藝指標(biāo) 平面均勻性≤5%@5-10um；臺(tái)階覆蓋率≥30%
應(yīng)用領(lǐng)域 先進(jìn)封裝、MEMS、科研等
技術(shù)特征 ?適用于表面刻有深孔的高表面形貌圓形或方形基片的噴涂工藝要求，超聲波霧化光刻膠膠粒，可均勻覆蓋臺(tái)階表面，邊緣，側(cè)壁，底部；
?噴嘴配有自動(dòng)清洗功能；
?設(shè)備可配置勻膠腔體和顯影腔體。
設(shè)備尺寸 2665*1724*2432mm（W*D*H）